Temiz odalar için ESD Koruma gereksinimleri
Dış hava koşulları nasıl değişirse değişsin, Cleam Room temizlik, sıcaklık, nem ve basınç özelliklerini orijinal olarak ayarlandığı gibi koruyabilir.
Temiz odanın ana işlevi, ürünlerin (silikon çipler vb.) temas ettiği atmosferin temizliğini, sıcaklığını ve nemini kontrol etmek, böylece ürünlerin iyi bir çevresel alanda üretilebilmesi ve üretilebilmesidir. Bu alana"temiz oda"&alıntı;
Uluslararası standartlara göre, temiz oda seviyesi esas olarak çapı sınıflandırma standardından daha büyük olan metreküp hava başına düşen partikül sayısına dayanmaktadır.
Temiz oda aşağıdaki gereksinimlere göre kurulmalıdır:
1. Anti-statik zemin: noktadan noktaya direnç<10e9ω; noktadan="" toprağa=""><>
2. Anti-statik duvar panosu: noktadan noktaya direnç<10e9ω; noktadan="" toprağa=""><>
3. Anti-statik pencere: noktadan noktaya direnç<10e9ω; noktadan="" toprağa=""><>
4. Güvenilir topraklama sistemi: noktadan noktaya direnç<>
5. Hava iyonizasyon sistemi: Proses teknolojisine göre denge voltaj aralığını ve enerjisiz kalma süresini belirleyin. Tavsiye: denge gerilimi<>