Elektrostatik boşalma (ESD) etkileri
1.1 ESD sorunları
Elektrostatik boşalma (ESE), farklı elektrostatik potansiyeli olan iki nesne arasındaki kontrolsüz bir şekilde transfer aktarımıdır. ESD'nin en yaygın sonucu, statik duyarlı ürünlere ve ekipman arızasına verilen zarardır. Yarı iletken ve elektronik endüstrilerinde olduğu gibi, tıbbi veya optik cihazların imalatında da, medya filmleri kaydetme, bu gibi durumlar genellikle meydana gelir. Elektrostatik deşarjın neden olduğu kaybı azaltmak için, üretim güvenliğini sağlamak için çalışma sırasında anti statik bir tezgah kullanılması tavsiye edilir.
1.2 Endüstride kaygı duyulan ESD'ler
Yarı iletken elektroniklerin üretiminde, minyatürleştirme, daha yüksek performans ve daha hızlı çalışma hızı ihtiyaçlarını karşılamak için cihazın geometrisi küçülüyor. Bu, yarı iletken gofret üzerindeki ayrı cihazların daha yüksek yoğunluğuyla sonuçlanır ve ESD olayları, erime, metal kaplama hattı gazlaştırma, ince oksit viyaleleri ve benzeri gibi çeşitli mekanizmalarda cihazın hasar görmesine veya bozulmasına neden olur. ESD olayları ayrıca cihazın kalitesini düşürebilir, olası bir hata veya "hasta operasyon" yaratabilir. Cihaz üretim testini geçebilse de, erken başarısızlıkla sonuçlanacaktır.
Tıbbi, optik ve dielektrik ince film endüstrileri ayrıca "statik yükler veya elektrostatik boşalmalar" olarak da bilinir. Bir film bir substrat üzerine biriktirildiğinde, elektrostatik bir olay, herhangi bir zamanda ürüne zarar verebilir.
1.3 ESD'nin ekipman işletimine etkisi
ESD yalnızca ürüne zarar vermekle kalmaz, ESD olayları aynı zamanda ürünün üretim ekipmanını da etkiler. Pek çok üretim ekipmanının kontrol fonksiyonları mikroişlemciler kullanır ve ESD olayları da ürünün üretim ekipmanını etkileyebilir. Pek çok üretim ekipmanının kontrol fonksiyonları, mikroişlemciler, elektromanyetik girişim (EMI) radyasyon efektleri veya ESD olayları tarafından üretilen ve bu ekipmanın çalışmasını engelleyebilecek iletken efektleri kullanır. Bir cihazda bir ESD olayı tarafından oluşturulan elektromanyetik girişim, yakındaki cihazların çalışmasını etkileyebilir.
Artan temiz oda otomasyonundan dolayı, bunların çalışması genellikle bilgisayarlı bir tesis yönetim sistemi (FMS) tarafından kontrol edilir. Bir ESD olayı bir cihazda veri sorununa neden olduğunda, tüm tesis işlemi etkilenir. Makinenin kapatılması genellikle feci bir sorun olmasa da, kesinti, azalan işlem hızı ve bazen ürün kaybına neden olabilir. Üretim sürecindeki verimsizlik, üretim maliyetlerini arttırmaktadır.