Elektrostatik korumada temel fikirler ve teknik yaklaşımlar
Elektrostatik boşalma cihaza zarar verebilir, ancak bir ESD sistemi kurmak için uygun ve uygun ESD koruması ve kontrol önlemleri alarak, bileşenlerin zarar görmesini en aza indirmek için ESD ortadan kaldırılabilir veya kontrol edilebilir. Elektrostatik koruma ve hassas cihazların kontrolü için iki temel fikir vardır:
1. (1) Topraklamanın olabileceği yerlerde statik elektrik birikmesini önleyin ve elektrostatik boşalma oluşumunu önlemek veya azaltmak için bazı tedbirler alın veya elektrik yükü birikimini ortadan kaldırmak için "yan üretirken sızdırma" yöntemini kullanın . Masraf zarar vermeyecek şekilde kontrol edilir.
1. (2) Birikmiş ücreti hızlı ve güvenilir bir şekilde biriktirin.
2.1 Proses Kontrol Yöntemi
Üretim sürecinde mümkün olduğunca az statik yük üretmek üzere tasarlanmıştır. Bu amaçla, statik elektriğin oluşumunu ve birikmesini kontrol etmek ve elektrostatik potansiyel ve elektrostatik boşalma kabiliyetinin derecesini aşmamak için proses akışı, malzeme seçimi, ekipman montajı ve işletme yönetimi konularından önlemler alınır. hasar. Yarı iletken üretim işleminde olduğu gibi, deiyonize suyun durulama için direnci, yüksek hızlı cihazın sığ birleşim oluşturma işlemi tamamlandıktan sonra kontrol edilmelidir. Dirençlilik ne kadar yüksek olursa, temizleme etkisi o kadar iyi, ancak dirençlilik ne kadar yüksek olursa çipte üretilen statik elektrik o kadar yüksek olur. Bu nedenle, genellikle 8 MΩ'dan biraz daha yüksek bir seviyede kontrol edilir ve ilk işlem için 16-17 MΩ olamaz. Ek olarak, malzeme seçiminde, paketleme malzemeleri antistatik malzemeler kullanmalı, işlem görmemiş polimer malzemelerden kaçınmaya çalışmalıdır.
2.2 Kaçak yöntemi
Statik elektriği sızıntı ile ortadan kaldırmak için tasarlanmıştır. Genellikle, elektrostatik topraklama, elektrik yükünün toprağa sızmasıdır; ayrıca elektrostatik bir madde eklemek veya nemi arttırmak gibi, zeminin yüzeyinde veya nesnenin içinde sızmasına neden olmak için nesnenin elektrik iletkenliğini arttırma yöntemi de vardır. En yaygın olanı, personel tarafından giyilen antistatik bilek kayışı ve statik topraklama direğidir.
2.3 Elektrostatik ekranlama yöntemi
Elektrostatik ekranlama ilkesine göre, iki türe ayrılabilir: iç alan ekranlama ve dış alan ekranlama. Özel önlem, yüklü gövdenin topraklanmış bir ekran kapağına sahip diğer nesnelerden izole edilmesidir; böylece yüklü gövdenin elektrik alanı diğer çevre nesneleri (alan içi koruma) etkilemeyecektir; Korumalı kapak bazen yalıtılmış nesneyi çevrelemek için kullanılır, böylece dış elektrik alanlarından korunur (dış alan koruma). Örneğin, bir GaA cihaz paketi, metal bir kutu veya metal bir film kullanır.
2.4 Bileşik Nötralizasyon Yöntemi
Statik yükü karmaşık nötralizasyon yoluyla ortadan kaldırmayı amaçlar. Nötrleştirme elde etmek için yüklü gövdede yüklü bir iyon içeren bir kompleks üretmek için bir topraklama giderici kullanılması. Genel olarak konuşursak, yüklü gövde bir yalıtkan olduğunda, elektrik yükü yalıtkanın üzerine akamadığından, topraklama yöntemi elektrik yükünü sızdırmak için kullanılamaz. Bu durumda, nötrleştirilmek üzere birbirine benzemeyen iyon üretmek için antistatik bir temizleyici kullanılmalıdır. Bu yöntem, taşıma bandı üzerinde üretilen elektrostatik yükü ortadan kaldırmak için kullanılır.
2.5 Temiz önlemler
Aralıklı deşarjları önlemek için tasarlanmıştır. Bu amaçla, yüklü gövdenin ve çevresindeki nesnelerin yüzeyi, aralıklı boşalma olasılığını azaltmak için mümkün olduğunca pürüzsüz ve temiz tutulmalıdır.