Temiz oda statik kontrolü
1. Statik kontrolün temel ilkeleri
(1) Statik kontrol seviyesini belirleyin (2) Statik yükün üretilmesini en aza indirin (3) deşarj ve statik yükün dağılmasını hızlandırmak ve statik birikimi önlemek için nötralize edin (4) Ürünleri ESD hasarından koruyun
2. Statik kontrol seviyesini belirleyin
(1) Bileşenlerin, montajların ve ekipmanların statik hassasiyetinin sınıflandırılması
Seviye 1: 0-1999 v statik voltaja duyarlı
Seviye 2: 2000-3999 v statik voltaja duyarlı
Seviye 3: 4000-5999 v statik voltaja duyarlı hassas statik voltaj 16000V'den büyükse, anti-statik önlemler gerekmez.
(2) Elektrostatik koruma çalışma alanlarının sınıflandırılması
Sınıf A: Toprağa elektrostatik potansiyelin ± 100V'den fazla olmamasına izin verilir
B Sınıfı: Toprağa elektrostatik potansiyelin ± 1000V'den fazla olmamasına izin verilir. Gerçek mühendislikte, bileşenlerin, montajların ve ekipmanın elektrostatik duyarlı voltajlarına karşılık gelen 100V, 500V, 1000V vb.
3. Statik elektrik üretimini en aza indirin
Bu, statik elektriği kontrol etmenin üç aşamalı sürecinin ilk adımıdır. Bu saflaştırılmış çalışma ortamında en iyi önlemler:
(1) temas, sürtünme ve ayırma işlemi sırasında statik elektrik oluşumunu azaltmak için benzer özelliklere sahip ekipman kullanmaya çalışın;
(2) temas, sürtünme ve ayırma işlemi sırasında statik elektrik birikimini azaltmak için elektrostatik iletken veya elektrostatik dağıtıcı malzemeli ekipman kullanmaya çalışın;
(3) Temas, sürtünme ve ayırma nedeniyle statik elektrik üretimini azaltan üretim süreçlerini kullanmaya çalışın.
4. Deşarj ve Nötralizasyon
Bu, statik elektriği kontrol etmenin üç aşamalı sürecinin ikinci adımıdır. Mikroelektronik üretiminin temiz odasındaki en yaygın önlemler, statik elektriği deşarj etmek için iletken veya dağıtıcı malzemeler kullanmak ve statik elektriği nötralize etmek için iyonlaştırıcı eliminasyonları kullanıyor.
(1) Temiz odanın topraklanması bağımsız bir elektrostatik topraklama sistemine (yer topraklama metal örgü sistemi ve üretim hattı iş istasyonu topraklama sistemi dahil) sahip olmalıdır, böylece odadaki tüm metal ekipmanlar, mobil ekipman, anti-statik ekipman vb. Personelin şarjı bilek kayışından topraklanır ve daha sonra anti-statik tabandan anti-statik ayakkabılar veya topuk kayışları aracılığıyla yere boşaltılır. Zemin, duvarlar, tavanlar, bölmeler vb. Sert topraklama, ekipman konutları, mobil ekipman (arabalar, sandalyeler, raflar, vb.), Çalışma tezgahları vb. Yumuşak topraklamadır.
(2) İyonize Elektrikli Aletler Her zaman bazı yalıtımlı iletkenler ve temiz odada üretilen ve monte edilen bileşenlere, PCB'lere, üretim hatlarına ve iş istasyonlarına dayanamayan dielektrik malzemeler (en sıradan plastikler gibi) vardır. Bazı ortamlarda, iyonize elektrikli aletler genellikle bu nesnelerdeki statik yükleri lokal olarak dağıtmak için kullanılır ve daha çok, yalıtım ortamı ve izole iletkenler üzerindeki statik yükleri nötralize etmek için hava iyonizasyonu kullanılır.
(3) İletken ve dağıtıcı malzemeler
İletken ve dağıtıcı malzemeler, iletkenlikleri nedeniyle statik elektriği deşarj etmek için iyi malzemelerdir. Ayrıca metal iletkenlerden daha güvenlidirler. Genellikle zemin, duvar, çalışma tezgahları, ciro kapları, cımbız ve fırçalar gibi anti-statik ekipman olarak kullanılırlar.
5. ESD'yi önleyin
Ürünleri korumak, statik elektriği kontrol etmenin üç aşamalı sürecinin son adımıdır. Mikroelektronik üretiminin temiz odasında, ESD'nin statik duyarlı bileşenler veya montajlar ve PCB'ler üzerinde oluşmasını önlemek için, bir yöntem, bileşenler ve montajlar için ürünler üzerindeki statik elektriği "dağıtmak" için uygun topraklama veya şantlar sağlamaktır; Başka bir yöntem, statik duyarlı cihazların ambalajını ve taşınmasını işlemek için uygun ambalaj yöntemlerini ve malzemelerini kullanmaktır. Bu malzemeler, yükü ürünü istila etmekten etkili bir şekilde koruyabilir ve ambalaj kutusunda hareket eden ürün tarafından üretilen statik elektriği azaltabilir. Bu, bileşen kullanıcılarına bir uyarıdır ve ekipman üretirken ihtiyaç duyulabilecek çevre kontrol gereksinimlerini, personel veya ekipman için olsun. EPA alanında izin verilen voltaj 25V'e ulaşırsa, mevcut anti-statik ekipman, ekipman, aletler ve mühendisliğimizin çok zor işlerden geçmesi gerektiğinden korkuyorum.