Temiz oda statik kontrolü
1. Statik kontrolün temel ilkeleri
(1) Statik kontrol düzeyini belirleme
(2) Statik yük oluşturmayı en aza indirin
(3) Havalandırma ve nötralizasyon yöntemi statik yükün dağılımını hızlandırır ve statik elektriğin birikmesini önler
(4) Ürünü ESD hasarından koruyun
2. Statik kontrol düzeyini belirleme
(1) Bileşenlerin, bileşenlerin ve ekipmanların elektrostatik duyarlılığının sınıflandırılması
Seviye 1: 0-1999V elektrostatik voltajdan kolayca zarar görmüş
Seviye 2: 2000-3999V elektrostatik voltajdan kolayca zarar görmüş
Seviye 3: 4000-5999V elektrostatik voltajdan kolayca zarar görmüş
Hassas statik voltaj 16000V'dan büyükse, anti-statik önlemler almak gerekli değildir.
(2) Elektrostatik koruma çalışma alanının sınıflandırılması
A Sınıfı: Elektrostatik potansiyelin ±100V'yi geçmemesine izin verin
B Sınıfı: Elektrostatik potansiyelin ±1000V'yi geçmemesine izin verin
Gerçek projede, elektrostatik potansiyel, 100V, 500V ve 1000V gibi ilgili bileşenlerin, bileşenlerin ve ekipmanların elektrostatik hassas voltajının 3 seviyesini geçmez.
3. Statik yük oluşturmayı mümkün olduğunca en aza indirin
Bu, statik kontrol üçlemesinin ilk adımıdır. Bu temiz çalışma ortamında en iyi önlemler şunlardır:
(1) Temas sürtünme ayırma işlemi sırasında oluşan elektrostatik yükü azaltmak için benzer özelliklere sahip ekipman kullanmaya çalışın;
(2) Temas sürtünmesi ve ayrıştırma işlemi sırasında statik yüklerin birikmesini azaltmak için statik iletken veya statik dissipatif malzemeler kullanmaya çalışın;
(3) Kontak sürtünme ayrımı ile oluşan elektrostatik yükü azaltan bir üretim süreci kullanmaya çalışın.
4. Serbest bırakma ve nötralizasyon
Bu, statik elektriği kontrol etme üç adımlı sürecin ilk adımıdır. Mikroelektronik üretiminin temiz odasındaki olağan önlemler topraklama, statik yükleri boşaltmak için iletken veya dissipatif malzemeler kullanmak ve statik yükleri nötralize etmek için dissipatörleri iyonlaştırmaktır.
(1) Topraklama
Temiz oda bağımsız bir elektrostatik topraklama sistemi (topraklama metal örgü destek sistemi, üretim hattı iş istasyonu topraklama destek sistemi dahil) ile donatılmalıdır, böylece odadaki tüm ekipmanların metal kabukları, mobil ekipmanlar için metal destekleri, anti-statik ekipmanlar vb. Yere bırak. Personelin yüklü elektriği bir bileklik aracılığıyla topraklanır ve anti-statik bir ayakkabı veya topuk kayışı ve daha sonra anti-statik bir zemin aracılığıyla yere boşaltılır. Zemin, duvarlar, tavanlar, bölmeler vb. sert topraklanmış, ekipman kabukları, mobil ekipmanlar (arabalar, sandalyeler, raflar vb.), tezgahlar vb.
(2) İyonize Xiao Electric
Temiz odalarda, üretim hatlarında ve iş istasyonlarında üretilen ve monte edilen bileşenler ve PCB'ler, topraklanamayan bazı yalıtım iletkenleri ve yalıtım dielektrik malzemelerin (çoğu sıradan plastik gibi) olması her zaman kaçınılmazdır. Bazı ortamlarda, iyonlaştırıcı eleyiciler genellikle bu nesnelerdeki statik yükleri yerel olarak dağıtmak için ve daha sık yalıtım ortamı ve izole iletkenlerdeki statik yükleri nötralize etmek için hava iyonlaşması yoluyla kullanılır.
(3) Statik elektrik ve statik dissipatif malzemeler
Statik elektrik iletken malzemeleri ve statik dissipatif malzemeler de statik elektrik iletkenliği nedeniyle çok iyi statik yük deşarj malzemeleridir ve metal iletken deşarjlarından daha güvenlidir. Genellikle zeminler, duvarlar, tezgahlar ve ciro kapları olarak kullanılırlar. , Cımbız, fırça ve diğer anti-statik ekipmanlar.
5. ESD'yi önleyin ve ürünleri koruyun
Bu, statik elektriği kontrol etme üçlemesinin son adımıdır. Mikroelektronik üretiminin temiz odasında, ESD'nin elektrostatik duyarlı bileşenlerde veya bileşenlerde, PCB'lerde oluşmasını önlemek için, bir yöntem, ürün üzerinde bulunan statik elektriği "dağıtmak" için bileşenler ve bileşenler için uygun topraklama veya şantlar sağlamaktır. Şarj; bir diğer yöntem ise elektrostatik hassas cihazların paketlenmesi ve taşınması için uygun paketleme yöntemleri ve malzemelerin kullanılmasıdır. Bu malzemeler, elektrik yüklerinin ürüne girmesini etkili bir şekilde koruyabilir ve ürünün ambalaj kutusundaki hareketiyle oluşan statik yükü azaltabilir.
Uluslararası alanda, yarı iletkenler, düz sıvı kristal ekranlar ve optoelektronikler, daha yüksek ve daha yüksek entegrasyon seviyeleri, daha ince talaş tel çapları ve anti-statik için daha yüksek ve daha yüksek gereksinimlerle hızla gelişmiştir. Amerikan ESD Birliği, ANS ESD S 20.20-1999 elektrostatik deşarj kontrol programını revize etmeye başladı ve SSD elektrostatik duyarlılık sınıflandırması için bazı değişiklikler yaptı.
Bu, bileşen kullanıcılarına, personel veya ekipman ne zaman ekipman yaparsa yapsın, ihtiyaç duyulabilecek çevresel kontrol gereksinimlerini söyleyin. EPA alanındaki izin verilen voltaj 25V'a ulaşırsa, mevcut anti-statik ekipman, ekipman, alet ve mühendisliğimizin çok çalışmaktan geçmesinden korkuyorum.